장비 맵 (공정 단계별)

장비 맵은 공정 단계별 대표 장비와 역할을 빠르게 연결하는 용도입니다. “어떤 공정에 어떤 장비가 필요한지”가 명확해지면 취업 준비에도 바로 연결됩니다.

전공정 핵심 장비

전공정 장비 예시

전공정 장비는 패턴과 막질의 품질을 직접 결정합니다.
특히 노광·식각·증착은 공정 변수 창이 좁아 장비 제어 안정성이 중요합니다.

후공정 장비 예시

후공정은 저저항 배선 + 평탄화 + 결함 관리가 핵심입니다.
배선/평탄화 품질이 나쁘면 다음 층이 바로 망가지기 때문에, CMP와 계측 장비가 필수입니다.

공정은 “측정이 없는 제조”가 불가능합니다. 장비 성능보다 측정의 신뢰성/재현성이 수율에 더 큰 영향을 주기도 합니다.

측정 장비 예시

메트롤로지는 공정 조건을 정량화하고, 공정 변동을 조기 감지합니다.
CD/두께/결함 데이터를 기반으로 공정이 다시 보정됩니다.

패키징 장비 예시

패키징 단계에서는 기계적 정밀도와 열 관리가 성능을 좌우합니다.
특히 첨단 패키징은 본딩/정렬 장비의 정밀도가 곧 수율입니다.